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        當前位置: 首頁 » 設備館 » 半導體清洗設備 » 真空等離子清洗機 »PVA TePla 微波等離子體去膠機 IoN Wave 10
        包郵 關注:1418

        PVA TePla 微波等離子體去膠機 IoN Wave 10

        應用于半導體行業:

        半導體清洗設備-真空等離子清洗機

        產品品牌

        PVA TePla

        發貨期限:

        90天天

        庫       存:

        1000

        產       地:

        全國

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

        面議
        交易保障 擔保交易 網銀支付

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        ¥10000.00

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        品牌:PVA TePla

        型號:

        所屬系列:半導體清洗設備-真空等離子清洗機

        PVA TePla微波等離子體去膠機

        IoN Wave 10 等離子體去膠機是PVA TePla 在微波等離子體處理工藝中的最新產品。該批次式晶圓灰化設備成本低廉、尺寸適用、性能先進。其使用最新的、性能出色的組件和軟件,可對工藝參數進行精確控制。其工藝監測和數據采集軟件可實現最嚴格的質量控制。占地面積小,安裝維護簡單。依靠微波等離子體技術,該設備在提供極高的光刻膠灰化速度的同時,最大程度較低了產品暴露在靜電中風險。

        型號:IoN Wave 10, PS210,

        典型應用:

        去除光刻膠 Photo-resist stripping

        去除殘膠 Wafer descum

        晶圓和襯底的清潔 Wafer and substrate cleaning

        su-8灰化 Su-8 ashing

        氮化硅、聚酰亞胺等的刻蝕 Etching of silicon nitride, pi, etc.

        刻蝕鈍化層 Etching of passivation layers

        逆向分析/失效分析中的器件開封 Device decapsulation for failure analysis

        微量分析中低溫材料灰化 low temperature ashing of materials for chemical trace analysision_wave_10_stripe11

        過濾器和薄膜的清潔 Cleaning of filters and membranes

         


        規格參數:

        2.45GHz風冷微波電源(0~600w可調),

        石英或陶瓷腔體,

        防腐蝕不銹鋼MFC,

        多至6路氣體,

        兼容8英寸及以下晶圓

        PC 工控機控制,運行數據自動存儲;分級控制權限,防止操作

        圖形化觸控屏界面,運行狀態圖形化實時顯示。

        自動/手動隨意切換

        可選配法拉第桶

        可選配溫控系統

        可選配壓力控制系統

        外形尺寸:775×749×781 mm

         


        認證:

        CE 認證

        EN 61010

        EN 61326

        Semi E95

        ISO 9001

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        服務熱線

        4001027270

        功能和特性

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