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        包郵 關注:1962

        磁控濺射系統

        產品品牌

        SPTS

        庫       存:

        10

        產       地:

        英國

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

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        交易保障 擔保交易 網銀支付

        客服電話:4001027270

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        ¥10000.00

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        品牌:SPTS

        型號:

        所屬系列:半導體加工設備-鍍膜設備-磁控濺射機

        用途說明

        薄膜濺射腔體用于薄膜的濺射;在一相對穩定真空狀態下,陰陽極間產生輝光放電,極間氣體分子被離子化而產生帶電電荷,其中正離子受陰極之負電位加速運動而撞擊陰極上之靶材,將其原子等粒子濺出,此濺出之原子則沉積于陽極之基板上而形成薄膜。
        磁控濺射鍍膜設備

         

        模塊構成及其功能描述

        · 基片工作面朝上

        · 具有預清洗功能(通過被電離的氬離子轟擊晶片表面,實現預清洗功能

        · 靶材與晶片距離:45毫米

        · 具有脈沖可移動磁鐵設計

        · AE公司10kW脈沖直流電源

        · 兼容4英寸/6英寸晶片(需加裝尺寸轉換零件)

        · 分子泵
        型號:普發真空HiPace 300

        氬氣抽速:250 l/s

        極限真空:7.5 • 10-8 Torr

        · 具有鍍膜時冷卻基片功能,通Ar氣冷卻,利用空氣對流原理

        · 配備2根氣路,配有氣動隔離閥和過濾器Ar流量范圍0-140SCCM; O2流量范圍是0-100sccm

        · 標準晶片底座配置

        · 晶片底座帶有偏置電壓,0-600W,13.56MHz,自動阻抗匹配

        · 2套標準陶瓷件

        磁控濺射的功能是通過利用 Ar一O2混合氣體中的等離子體在電場和交變磁場的作用下,被加速的高能粒子轟擊靶材表面,能量交換后,靶材表面的原子脫離原晶格而逸出,轉移到基體表面而成膜。

         

        操作控制系統

        · 控制系統安裝在Windows操作系統中,主控制服務器可以控制每個腔室。自動化軟件能單獨控制每一個工藝腔室,能監控設備運行狀態,實時監控工藝參數,電腦能自動存儲工藝數據。系統軟件可對各腔室工藝編輯,編程控制膜層濺射順序,一個工藝流程可以涉及多個工藝腔室,按程序依次對片盒中晶片鍍膜。具有EMO開關,配置UPS電源,在突發斷電時,系統可以安全關機。滿足數字化工藝控制,具備設備監控與管理數據采集接口,通過MES系統連接可實現實時監控和數據采集。

        · 用戶界面有高端且易用的工藝方案管理系統。自動化軟件能單獨控制每一個工藝模塊,即所有工藝模塊可以同時運行,互不干擾,一個工藝流程可以涉及多個工藝腔室,即能同時使用所有的工藝腔室,增加靈活性程度及產能更高。

        · 數據記錄提供了實時數據采集。用戶可以決定每一個工藝步驟中哪些變量要被記錄,并且可以在屏幕上顯示、存儲和打印這些數據。

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        提問:
         

        設備靶材使用的是平面型的還是輥型的?靶材的利用率能達到65%嗎?

        dfft  2017-08-03

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        服務熱線

        4001027270

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