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        團簇型多室CVD沉積系統主要用于非晶硅太陽能電池的研究和制作

        應用于半導體行業:

        半導體加工設備-鍍膜設備-其他

        產品品牌

        北京北儀

        規格型號:

        團簇型多室CVD沉積系統

        庫       存:

        100

        產       地:

        中國-北京市

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

        10000.00
        交易保障 擔保交易 網銀支付

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        ¥10000.00

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        品牌:北京北儀

        型號:團簇型多室CVD沉積系統

        所屬系列:半導體加工設備-鍍膜設備-其他

        團簇型多室CVD沉積系統 北京北儀
        • 團簇型多室CVD沉積系統應用范圍:主要用于非晶硅太陽能電池的研究和制作
        • 團簇型多室CVD沉積系統技術特點:能在真空環境下連續處理多種CVD工藝過程
        • 團簇型多室CVD沉積系統主要技術參數:


        • 團簇型多室CVD沉積系統

          Cluster Multi-chamber CVD Deposition System

           

          技術參數Parameter

          真空室尺寸

          Vacuum chamber size

          主真空室尺寸:Server chamber

          Φ760×270mm

          工作真空室尺寸:

          Workstation chamber

          PECVD

          250×250×300mm

          VHFCVD

          510×250×300mm

          HWCVD

          550×250×300mm

          進出片室尺寸;Loading chamber

          250×286×300mm

          主真空室工位數:

          Server position of server chamber

          6

          工作真空室數:

          Number of Workstation chamber

          5

          真空系統

          Vacuum system

          傳輸室:Server chamber

          F150+D30C

          工作真空室:

          Workstation chamber

          F100+D30C

          進出片室:Loading chamber

          D30C

          極限壓力

          Ultimate pressure

          傳輸室:Server chamber

          5×10-4Pa

          工作真空室:

          Workstation chamber

          5×10-5Pa

          進出片室:Loading chamber

          5×10-1Pa

          工件尺寸

          Substrate size

          工件最大尺寸:

          Maximum diameter

          100×100mm

          工件最大重量:Maximum weight

          2kg

          最大同時處理數量:

          Maximum loading capacity

          4

          操作

          Operation

          全自動+計算機流程控制

          Fully automatic computer control

          PLC控制

          PLC control

          氣路控制系統

          Gas system

          全套進口件氣路  16路進口流量計  進口變通導閥門

          9路氣體(N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO2

          imported gas path,16-ways imported MFC,imported alterable valve 9 routes

          (N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO)

          

           北京北儀創新真空技術有限責任公司(原北京儀器廠)創建于1954年,總部位于中央商務區(CBD)的中心位置。生產基地位于大興工業開發區,占地面積31064平方米,建筑面積45504平方米。2003年通過ISO-2000質量體系認證。共有真空獲得、真空測量、真空應用三大類產品,從低真空到超高真空30多個系列160多個品種。產品廣泛地應用于航天航空、電子信息、光學產業、冶金、建筑裝飾、食品、紡織、電力環保及新能源等行業。經過50多年對真空技術的探索,通過與全國多所大專院校、研究院所進行的多次合作開發,以及公司研發人員不斷的創新與研發,北儀創新公司始終站在中國真空行業的前沿。
            在真空測量技術、真空獲得技術、光學多層全自動鍍膜技術、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術(DC、MC、RF濺射技術)以及PECVD技術等方面處于國內領先,并有多項科研成果獲得國家專利。近年來,為多個院校、研究院所開發制造多臺用于研究薄膜太陽能電池的實驗室設備。在擁有成熟的真空技術的基礎上,2006年北儀創新公司研制成功了國內首條自行設計制造的非晶硅薄膜太陽能電池生產線,其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術,用于生產大型玻璃光電模板一次完成多片數十平方米的雙節非晶硅薄膜的沉積,在相對低的設備投資下取得較高的大面積模板的產量,產品的性能指標達到國際同等水平,設備銷往廣東、福建、浙江等地區,改變了以往我國非晶硅薄膜電池生產線依靠進口的現狀。

        北儀創新公司一貫秉承并將繼續堅持“誠信 精益”的企業精神,不斷汲取客戶的建議及業界的先進技術,以“顧客先導 持續改進”的價值觀在合作中實現共贏。

         
         

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        提問:
         

        請問這臺機的工作電壓是幾伏的占地多大?團簇型多室有什么優勢?

        caoweihuo  2017-07-11

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        服務熱線

        4001027270

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