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        Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長

        應用于半導體行業:

        半導體加工設備-爐類設備-退火爐

        產品品牌

        Centrotherm

        庫       存:

        1000

        產       地:

        德國

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

        1000.00
        交易保障 擔保交易 網銀支付

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        品牌:Centrotherm

        型號:

        所屬系列:半導體加工設備-爐類設備-退火爐

         

        Activator 150

        SiC和GaN退火及石墨烯生長

         

        centrotherm Activator 150 高溫爐生產線專為硅-碳化合物(SiC)或鎵-氮化合物(GaN) 設備的后植入燒結而設計開發。Activator 150 可用于多種類型爐體, 如研發爐和批量生產爐, 且處理靈活性高。centrotherm 的無金屬加熱裝置的獨特設計允許處理溫度高達 1850 °C 同時縮短了工藝循環時間。由于占據空間小、購置成本低,所以 Activator 150 可實現生產具有成本效益。

         

        高活化率

        表面粗糙程度最小

        溫度最高達 1850°C

        批量規模高達 50硅片(150mm)

        加熱率最高達 150 K/min

        通過SiH4可實現硅“過壓

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        提問:
         

        加溫速度是多快???降溫裝置是什么?有現貨嗎?

        hjool  2017-07-24

        應用于半導體行業的相關同類產品:

        服務熱線

        4001027270

        功能和特性

        價格和優惠

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