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        包郵 關注:1191

        SR100 光譜反射薄膜測厚儀 上海佰芯

        庫       存:

        100

        產       地:

        全國

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

        面議
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        品牌:

        型號:

        所屬系列:半導體測試設備-測厚設備-非接觸式測厚儀

        SR100 光譜反射薄膜測厚儀

        ◆ 波長范圍:250nm到1100 nm
        ◆ 光斑尺寸:500μm至5mm
        ◆ 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
        ◆ 基板尺寸:最多可至50毫米厚
        ◆ 測量厚度范圍:2nm到50μm
        ◆ 測量時間:最快2毫秒
        ◆ 精確度:優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
        ◆ 重復性誤差:小于1

        SR100特點

        ◆ 易于安裝
        ◆ 基于視窗結構的軟件,很容易操作
        ◆ 先進的光學設計,以確保能發揮出最佳的系統性能
        ◆ 基于陣列設計的探測器系統,以確??焖贉y量
        ◆ 獨特的光源設計,有著較好的光源強度穩定性
        ◆ 有四種方法來調整光的強度:
        § 通過電源的調節旋鈕來調節電源輸出的大小
        § 在光輸出端口濾光槽內調整濾光片來調整
        § 調整光束大小
        § 通過TFProbe軟件,在探測器里調整積分時間
        ◆ 最多可測量5層的薄膜厚度和折射率
        ◆ 在毫秒的時間內,可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數
        ◆ 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
        ◆ 系統配備大量的光學常數數據及數據庫
        ◆ 對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者復合模型(EMA)測量分析; 
        ◆ 可升級至MSP(顯微分光光度計)系統,SRM成像系統,多通道分析系統,大點測量。
        ◆ 通過模式和特性結構直接測量。
        ◆ 能夠應用于不同類型、不同厚度的基片測量。
        ◆ 提供的各種配件可用于特殊結構的測量,例如通過曲線表面進行縱長測量。
        ◆ 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數據管理界面。

        SR100系統配置

        ◆ 型號:SR100R
        ◆ 探測器: 2048像素的CCD線陣列
        ◆ 光源:高穩定性、長壽命的鹵素燈
        ◆ 光傳送方式:光纖
        ◆ 臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm的大小
        ◆ 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
        ◆ 通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
        ◆ 測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
        ◆ 電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
        ◆ 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
        ◆ 保修:一年的整機及零備件保修

        SR100應用

        ◆ 半導體制造(PR,Oxide, Nitride..)
        ◆ 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
        ◆ 醫學,生物薄膜及材料領域等
        ◆ 油墨,礦物學,顏料,調色劑等
        ◆ 醫藥,中間設備
        ◆ 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
        ◆ 半導體化合物
        ◆ 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
        ◆ 非晶體,納米材料和結晶硅


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