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        SFQ\DYX\ECD濕化學工藝設備

        庫       存:

        1

        產       地:

        中國

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

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        SFQ/SFQZ系列濕法設備廣泛應用于集成電路、光電子器件、MEMS及分立器件、半導體材料加工、太陽能光伏等領域,用于各種半導體基片及類似材料制造過程中濕化學處理工藝,有手動、半自動及全自動三種配置。

        六大專有技術

        濕法清洗設備系統集成技術

        /液自動傳輸及控制技術

        材料與化學工程防護技術

        溫度傳遞及精確控制技術

        晶片自動傳輸及自動控制技術

        溶液流場均勻性控制技術

        主要技術特點:

        系統結構:設計緊湊、潔凈、防腐、安全、多種式樣機架可供選擇

        控制方式:采用高性能PLC或工控機實現集中控制,結合單元功能控制簡化操作

        槽體配置:材料:NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不銹鋼等多種材料
           
           功能:恒溫控制(加熱
        /制冷)、循環、過濾、自動補液、抖動、旋轉、超聲/兆聲、溢流、快排、鼓泡、干燥等

        定制設計:根據用戶要求提供工藝配置及技術支持

        ECD系列:


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