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        包郵 關注:1180

        華林科納單片式清洗裝置

        產品品牌

        華林科納

        庫       存:

        50

        產       地:

        中國-江蘇省

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

        面議
        交易保障 擔保交易 網銀支付

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        ¥10000.00

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        品牌:華林科納

        型號:

        所屬系列:半導體清洗設備-標準清洗-單片自動清洗機

         TK 裝 置的 優勢 (例)

        1) 大幅提高成品率

        ?微粒去除性能可對應25納米級裝置。

        40 個/W (particle size 0.06um)

        ?2 流體濺射具有很高的塵埃除去性能

        ?蝕刻的面內均一性良好:2 %以下(氧化膜在希HF處理的情況)

        ?特にエピ成長前の洗浄に高影響(メタル完全除去、ゴミ極?。?/p>

        2)  価格 優勢

        ?MTK的價格是大日本、TEL等企業的同樣裝置價格的一半。

        3 )運 營 成本

        ?藥液循環使用

        ?純水消費量:1 Liter/min (one chamber)

        3)  設置 面積 小

        ?2~3 m 2 (2 chamber) (參考 :水槽式: 13m2 )

        ?1.5~2 m 2 (1 chamber)

        4)  臭氧 水 清洗

        ? 卓越的塵埃、有機物、金屬除去性能( 臭氧濃度:最大30ppm)

        ? 使用臭氧水、可省去硫酸、鹽酸、雙氧水

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        服務熱線

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