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        等離子刻蝕設備 牛津PlasmaPro100 Polaris 高端刻蝕工藝

        產品品牌

        牛津儀器

        庫       存:

        20

        產       地:

        中國-北京市

        數       量:

        減少 增加

        價       格:

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        客服電話:4001027270

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        品牌:牛津儀器

        型號:

        所屬系列:半導體加工設備-刻蝕設備-高密度等離子體刻蝕機

        等離子刻蝕設備 牛津PlasmaPro100 Polaris 高端刻蝕工藝

        牛津儀器專業為中國企業、科研單位打造等離子刻蝕設備,可實現碳化硅深孔刻蝕工藝,深度達到
        100um以上

        精湛的精密刻蝕工藝 ,超過百家企業,科研單位,選擇我們量身定制設備,歡迎來電咨詢:010-57168280 趙小姐

        PlasmaPro100 Polaris
        1.深孔碳化硅刻蝕工藝的關鍵因素
        2.深孔碳化硅刻蝕工藝的關鍵技術開發與成果
        3.達成深孔碳化硅刻蝕:設備需具有的關鍵條件
        4.Polaris具體設計的特點
        5.可操作在低功率低偏壓之起輝模式
        6.單晶片夾具解決方案
        7.Hardware Components-最在化抽氣鏈結
        8.從硬件設計與工藝角度,總結Polaris的優異性能










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        qingqingyuan  2017-06-29

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