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        FIB雙束電鏡檢測

        發表于:2020-02-26  作者:ioptee01  關注度:839

               聯系方式:18951907529
               聚焦離子束雙束系統用于金屬、半導體、電介質、多層膜結構等固體樣品上制備微納結構;高質量定點TEM樣品制備;化學和晶體結構三維形態分析。

        儀器功能介紹:

        一:截面切割表征,可以在樣品進行定點切割,并且配合EDS能譜分析表征其截面形貌與元素分布,可用于芯片等器件失效分析,或者實現對樣品材料的三維重構分析。

        二:直寫制備微納結構,可以于金屬、半導體等固體材料上制備線寬15nm以上的納米結構器件,可用于制備包括光子晶體結構,表面等離激元器件等。

        三:配備Pt誘導沉積系統,可以在樣品定點區域沉積金屬Pt,可用于芯片修補,也可沉積制備納米圖形。
               
               四:制備TEM樣品,對樣品的進行定點切片。

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