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        SEM/EDS測試

        發表于:2017-02-15  作者:863test  關注度:1139

        掃描電子顯微鏡+X射線能譜儀(SEM+EDS)

        掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像,對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察,最大放大倍數可達30萬倍,同時利用電子激發出樣品表面的特征X射線來對微區的成分進行定性定量分析。

        測試范圍:

        SEM的二次電子成像分辨率約3nm

        背散射電子成像分辨率約300nm

        EDS成分分析的元素范圍BeU

        分析深度約1μm

        檢測下限約1%

        空間分辨率約1μm

         

        服務項目:

        各種固體材料的形貌分析

        微區化學成分檢測

        樣品成分的線分布和面分布分析

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