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        北大軟微學院微納米中心

        發表于:2016-03-01  作者:pku-wx  關注度:2619

        主要技術服務內容:8寸及以下樣片精密減薄拋光
           
             北京大學微電子系在中國微電子產業的發展過程中有著輝煌的歷史。在20世紀七十年代研制出我國第一塊三種類型包括硅柵N溝道1K MOS DRAM,是我國微電子科學技術史上的重要里程碑之一,獲全國科學大會獎,是中國最早的大規模集成電路的發源地之一。
        北大軟微學院微納米加工中心依托北京大學微電子學研究院科研技術力量建立,立足長三角地區,以科研帶動產業發展。中心擁有半導體材料減薄拋光和檢測國際先進設備,可承接Si,SiC, GaAs, InP,CZT, MCT 等多種半導體材料加工測試,加工樣品尺寸為8寸、6寸及4寸。

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